半導體
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當今世界,半導體、平板顯示器(FPD)、太陽能(néng)電池等領域的(de)技術革新正取得(dé)驚人(rén)的進歩。半(bàn)導體(tǐ)裝置向高集成化方向發展,其電路的最小寬度從45納米向32納米縮小(xiǎo)。而FPD,則向大型化的方向(xiàng)發展,正在進行第8代(2500毫米×2300毫米)到第10代產品的設備投(tóu)資。隨之而來的,是對半導體(tǐ)製造裝置及FPD製造裝置等所使用(yòng)的軸承、直動式產品、機電一(yī)體(tǐ)化產品的功能要求越來(lái)越(yuè)高,如低發塵(chén)性(xìng)、低排氣性、耐熱(rè)性、耐蝕性等。
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當今世界,半導(dǎo)體、平板顯示器(FPD)、太陽能(néng)電池(chí)等領域的技術革新正取得驚人的進(jìn)歩。半導體裝置向高集成化方向發展(zhǎn),其電路(lù)的最(zuì)小寬度(dù)從45納米向32納米縮小。而FPD,則向大型化的方(fāng)向發(fā)展,正在進行第8代(dài)(2500毫米×2300毫米)到第10代產(chǎn)品的設備投資(zī)。隨(suí)之而來的,是對半導體製(zhì)造裝置及FPD製造裝置等所使(shǐ)用的(de)軸承、直動式產品、機電一體化產品的功能要求越來越高,如低發塵性、低排氣性、耐熱性、耐(nài)蝕性等。
有效運(yùn)用材料技術、潤滑技術、清潔技術、表麵改質技術、精密導向技術核心技術開發(fā)出的可在真空、清潔、高溫(wēn)、腐蝕等(děng)工況(kuàng)下(xià)使用的“SPACEA™係(xì)列: 特殊工況用軸承、滾珠絲杠、直線導軌”的產品陣容,在為各種裝置的高功能化及高性能化做貢獻的同時,還致力於解決環(huán)保課(kè)題。
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